Gr1 Gr2 Gr5 Titanni purkash maqsadi

1. Maqsadli material

Maqsadli material yuqori tezlikda zaryadlangan zarralar tomonidan bombardimon qilingan maqsadli materialdir. Metalllar, qotishmalar, oksidlar va boshqalar mavjud. Turli xil maqsadli materiallarni (masalan, alyuminiy, mis, zanglamaydigan po'lat, titanium, nikel nishonlari va boshqalar) almashtiring, siz turli xil kino tizimlarini olishingiz mumkin (masalan, o'ta qattiq, aşınmaya bardoshli, korroziyaga qarshi qotishma plyonka va boshqalar).

(1) Metall nishonlar: nikel nishoni, Ni, titan nishoni, Ti, sink nishoni, Zn, xrom nishoni, Cr, magniy nishoni, Mg, niobiy nishoni, Nb, qalay nishoni, Sn, alyuminiy nishoni, Al, indiy nishoni, In , temir nishoni, Fe, tsirkonyum alyuminiy nishoni, ZrAl, titanium alyuminiy nishoni, TiAl, sirkoniy nishoni, Zr, alyuminiy kremniy nishoni, AlSi, kremniy nishoni, Si, mis nishoni Cu, tantal nishoni T, a, germaniy nishoni, Ge, kumush maqsad, Ag, kobalt nishoni, Co, oltin nishoni, Au, gadoliniy nishoni, Gd, lantan nishoni, La, itriy nishoni, Y, seriy nishoni, Ce, volfram nishoni, w, zanglamaydigan po‘lat nishon, nikel-xrom nishoni, NiCr, gafniy maqsadi, Hf, molibden nishoni, Mo, temir-nikel nishoni, FeNi, volfram nishoni, Vt va boshqalar.

(2) Seramika maqsadlari: ITO maqsadi, magniy oksidi nishoni, temir oksidi nishoni, kremniy nitridi nishoni, kremniy karbid nishoni, titanium nitridi nishoni, xrom oksidi nishoni, sink oksidi nishoni, rux sulfid nishoni, kremniy dioksidi nishoni, bitta silikon oksidi nishoni, seriy oksidi nishoni, tsirkoniy dioksid nishoni, niobiy pentoksid nishoni, titanium dioksid nishoni, tsirkoniy dioksid nishoni, gafniy dioksid nishoni, titanium diborid nishoni, tsirkonyum diborid nishoni, volfram trioksid nishoni, alyuminiy oksidi nishoni, magniy oksidi pentoksid nishoni, tantalumniy oksidi nishoni , itriy ftorid nishoni, sink selenid nishoni, alyuminiy nitridi nishoni, kremniy nitridi nishoni, bor nitridi nishoni, titanium nitridi nishoni, kremniy karbid nishoni, litiy niobat nishoni, praseodimiyum titanat nishoni, bariy titanat nishoni, lantan oksidi nishoni, spreyi nishoni maqsad va boshqalar.

2. Maqsadning asosiy ishlash talablari

(1) Poklik

Soflik - bu maqsadning asosiy ishlash ko'rsatkichlaridan biri, chunki nishonning tozaligi filmning ishlashiga katta ta'sir ko'rsatadi. Biroq, amaliy dasturlarda maqsadli materiallarning tozalik talablari ham boshqacha. Misol uchun, mikroelektronika sanoatining jadal rivojlanishi bilan kremniy gofretlarining o'lchamlari 6 ", 8" dan 12 "gacha o'sdi va simlarning kengligi 0.5um dan 0 gacha qisqardi. .25um, 0.18um yoki hatto 0.13um, oldingi maqsadli tozaligi 99.995%. 0.35umIC va 0 tayyorlashning texnik talablariga javob berishi mumkin. .18um liniyalari maqsadning tozaligi uchun 99,999% yoki hatto 99,9999% ni talab qiladi.

(2) Nopoklik tarkibi

Maqsadli qattiq moddalardagi aralashmalar va teshiklardagi kislorod va suv bug'lari yotqizilgan plyonka uchun asosiy ifloslanish manbalari hisoblanadi. Turli maqsadlarda turli xil nopoklik tarkibi uchun turli talablar mavjud. Misol uchun, yarimo'tkazgich sanoatida ishlatiladigan sof alyuminiy va alyuminiy qotishma maqsadlarida gidroksidi metall tarkibi va radioaktiv elementlarning tarkibi uchun maxsus talablar mavjud.

(3) Zichlik

Maqsadning qattiq moddalaridagi teshiklarni kamaytirish va püskürtülmüş plyonkaning ish faoliyatini yaxshilash uchun odatda nishonning yuqori zichlikka ega bo'lishi talab qilinadi. Nishonning zichligi nafaqat püskürtme tezligiga ta'sir qiladi, balki plyonkaning elektr va optik xususiyatlariga ham ta'sir qiladi. Maqsadli zichlik qanchalik yuqori bo'lsa, filmning ishlashi shunchalik yaxshi bo'ladi. Bundan tashqari, nishonning zichligi va mustahkamligini oshirish nishonga püskürtme paytida termal stressga yaxshiroq bardosh berishga imkon beradi. Zichlik ham maqsadning asosiy ishlash ko'rsatkichlaridan biridir.

(4) Don hajmi va don hajmi taqsimoti

Maqsadli material odatda polikristaldir va don hajmi mikrondan millimetrgacha bo'lishi mumkin. Xuddi shu maqsadli material uchun nozik donalar bilan nishonning chayqalish tezligi qo'pol donli nishonga qaraganda tezroq; don o'lchamidagi kichik farq (bir xil taqsimot) bilan nishonni purkash orqali yotqizilgan plyonkaning qalinligi bir xil bo'ladi.

3. Material

(1) Sof titan: GR1 GR2

(2) Titan qotishmasi: Gr5 titanium, titanium alyuminiy TiAl, titanium nikel TiNi, titanium xrom TiCr, titanium zirkonium TiZr, mis titanium TiCu va boshqalar.

(3)Boshqa materiallar: tsirkoniy purkash nishonlari, xrom purkash nishonlari, volfram purkash nishonlari, mis purkash nishonlari va boshqalar.

4. Maqsad

U elektronika sanoatida dekorativ qoplamalar, aşınmaya bardoshli qoplamalar, CD va VCD disklarida, shuningdek, turli magnit disk qoplamalarida keng qo'llaniladi.

Volfram-titan (W-Ti) plyonkalari va volfram-titan (W-Ti) asosidagi qotishma plyonkalar bir qator almashtirib bo'lmaydigan ajoyib xususiyatlarga ega yuqori haroratli qotishma plyonkalardir. Volfram yuqori erish nuqtasi, yuqori quvvat va past termal kengayish koeffitsienti kabi xususiyatlarga ega. W / Ti qotishmasi past qarshilik koeffitsienti, yaxshi termal barqarorlik va oksidlanish qarshiligiga ega. Al, Cu va Ag kabi o'tkazuvchan rol o'ynaydigan metall simlarni talab qiladigan turli xil qurilmalar keng qo'llanilgan va tadqiq qilingan. Shu bilan birga, simli metallning o'zi osongina oksidlanadi, atrofdagi muhit bilan reaksiyaga kirishadi va dielektrik qatlamga yomon yopishadi. Si va SiO2 kabi qurilmalarning substrat materiallariga tarqalishi oson va u pastroq haroratda metall va Si hosil qiladi. Nopoklik vazifasini bajaradigan aralashmalar qurilmaning ish faoliyatini sezilarli darajada pasaytiradi. W-Ti qotishmasi barqaror termomexanik xususiyatlar, past elektron harakatchanligi, yuqori korroziyaga chidamliligi va kimyoviy barqarorligi tufayli simli diffuziya to'sig'i sifatida foydalanish oson, ayniqsa yuqori oqim va yuqori haroratli muhitda foydalanish uchun javob beradi.

Batafsil tasvirlar

Issiq teglar: gr1 gr2 gr5 titan purkash maqsadi, Xitoy, ishlab chiqaruvchilar, etkazib beruvchilar, zavod, moslashtirilgan, arzon narx, stokda, Xitoyda ishlab chiqarilgan